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在年代文里当厂长 第363节 (第3/5页)
高不下。 就连美国军方都觉得贵。 提高良品率显然很有用。 想要提高良品率,不外乎两个途径,一来提高晶圆也就是多晶硅的纯度。 二来则是提高光刻机的性能。 无线电厂这边选择的是提高晶圆的纯度,这当然无可厚非。 甚至可以说,掌握了这一技术,不管何时都能够保证绝对的晶圆纯度,在眼下比提高光刻机性能更具有性价比。 试想,国内光刻机远远落后于日本,现在还在使用接近式光刻技术却能够达到和日本半导体一般无二的良品率,可以想象晶圆纯度的提升有多牛掰。 但只有这个技术还不够。 毕竟提升晶圆纯度的方法是多样的,说不定哪天日本也掌握了其他方法提高晶圆纯度。 到那时候这专利也不再具有独一无二性。 咋办呢? 所以提高光刻机的性能是必备选项。 一口吃个大胖子不可能,再说现在的技术也远远没达到二十世纪末的标准。 极紫外光刻技术这个杀手锏与这个时代格格不入。 国内半导体设备想要发展,也得循序渐进的来。 事实上在七十年代,还是硅谷那边的半导体厂商在打架,日本半导体产业远没有那么强有力的竞争力。 马萨诸塞州的perkin elmer率先搞出了投影式光刻机micralign100,让芯片不再那么贵不可攀。 几年后,gca公司又推出了步进式光刻机dsw4800。 从特曼教授寄来的杂志
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